France – Machines et appareils microélectroniques – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides
AI summary
This tender concerns the acquisition and commissioning of a fully automated atomic layer deposition (ALD) equipment for CEA-LETI Grenoble. The system will deposit advanced metal and metal nitride films on 300 mm (or 200 mm) wafers for non-volatile memory and advanced contact applications in 10 nm and beyond SOI technology development. The contract includes mandatory Level 1 maintenance training and optional heat exchangers, chillers, power supply transformer, advanced training, preventive/corrective maintenance, and extended warranty.
The supplier should be an established semiconductor equipment manufacturer with proven expertise in atomic layer deposition systems for advanced materials and semiconductor processing at research/advanced technology development scales.
Suppliers must be qualified manufacturers of ALD deposition equipment capable of handling 300 mm wafers with metal and metal nitride deposition capabilities. Equipment must include surface cleaning solutions and full automation. Bidders should provide comprehensive technical specifications, maintenance support options, and transport/installation services to CEA Grenoble.
Frequently asked questions
What is this tender about?
This tender concerns the acquisition and commissioning of a fully automated atomic layer deposition (ALD) equipment for CEA-LETI Grenoble. The system will deposit advanced metal and metal nitride films on 300 mm (or 200 mm) wafers for non-volatile memory and advanced contact applications in 10 nm and beyond SOI technology development. The contract includes mandatory Level 1 maintenance training and optional heat exchangers, chillers, power supply transformer, advanced training, preventive/corrective maintenance, and extended warranty.
What are the requirements for suppliers?
Suppliers must be qualified manufacturers of ALD deposition equipment capable of handling 300 mm wafers with metal and metal nitride deposition capabilities. Equipment must include surface cleaning solutions and full automation. Bidders should provide comprehensive technical specifications, maintenance support options, and transport/installation services to CEA Grenoble.
What type of company should bid?
The supplier should be an established semiconductor equipment manufacturer with proven expertise in atomic layer deposition systems for advanced materials and semiconductor processing at research/advanced technology development scales.
Who is the buyer?
The buyer is CEA Grenoble.
When does this tender close?
Submissions close on September 11, 2026.
Dans le cadre de ses activités de recherche visant à développer des technologies SOI à épuisement total de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt par couche atomique (ALD) entièrement automatique. Cet équipement devra principalement traiter des plaquettes de 300 mm (ou de 200 mm à l’aide de supports 200-300 mm). Il est destiné au dépôt de métaux ainsi que de nitrures métalliques pour les mémoires non volatiles et les contacts avancés. Cet équipement devra également inclure une solution de nettoyage afin d’améliorer la qualité de surface avant le dépôt de métaux et de nitrures métalliques. Le marché comprend également l’option à chiffrage obligatoire suivante* : - Option 1 – Formation de maintenance Niveau 1 (Chapitre 9) Le marché comprend également les options à chiffrage facultatif suivantes* : - Option 2 – Échangeurs de chaleur (Heat exchangers) et systèmes de refroidissement (chillers) (Section 3.2.6) - Option 3 – Transformateur électrique (Power supply transformer) (Section 4.1.4) - Option 4 – Formation de maintenance Avancé (Chapitre 9) - Option 5 – Services de maintenance préventive, corrective et pièces de rechange nécessaires (Section 12.2) - Option 6 – Extension de garantie d’une année supplémentaire - Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE
Dans le cadre de ses activités de recherche visant à développer des technologies SOI à épuisement total de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt par couche atomique (ALD) entièrement automatique. Cet équipement devra principalement traiter des plaquettes de 300 mm (ou de 200 mm à l’aide de supports 200-300 mm). Il est destiné au dépôt de métaux ainsi que de nitrures métalliques pour les mémoires non volatiles et les contacts avancés. Cet équipement devra également inclure une solution de nettoyage afin d’améliorer la qualité de surface avant le dépôt de métaux et de nitrures métalliques. Le marché comprend également l’option à chiffrage obligatoire suivante* : - Option 1 – Formation de maintenance Niveau 1 (Chapitre 9) Le marché comprend également les options à chiffrage facultatif suivantes* : - Option 2 – Échangeurs de chaleur (Heat exchangers) et systèmes de refroidissement (chillers) (Section 3.2.6) - Option 3 – Transformateur électrique (Power supply transformer) (Section 4.1.4) - Option 4 – Formation de maintenance Avancé (Chapitre 9) - Option 5 – Services de maintenance préventive, corrective et pièces de rechange nécessaires (Section 12.2) - Option 6 – Extension de garantie d’une année supplémentaire - Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
- PriceLe prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
Computing match…
AI document analysis
We read the tender PDFs and DOCX files and surface key requirements, deadlines, budget and red flags.
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