France – Machines et appareils microélectroniques – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides
Résumé IA
Cet appel d'offres porte sur l'acquisition et la mise en service d'un équipement de dépôt par couche atomique (ALD) entièrement automatisé pour le CEA-LETI Grenoble. Le système effectuera le dépôt de films métalliques avancés et de nitrures métalliques sur plaquettes de 300 mm (ou 200 mm) pour les applications de mémoires non volatiles et contacts avancés dans le développement de technologie SOI 10 nm et au-delà. Le marché comprend la formation de maintenance Niveau 1 obligatoire et plusieurs options facultatives.
Le fournisseur doit être un fabricant établi d'équipements semiconducteurs ayant une expertise reconnue dans les systèmes de dépôt par couche atomique pour matériaux avancés et traitement semiconducteur à l'échelle recherche et développement de technologies avancées.
Les fournisseurs doivent être des fabricants qualifiés d'équipements ALD capables de traiter des plaquettes de 300 mm avec dépôt de métaux et nitrures métalliques. L'équipement doit inclure des solutions de nettoyage de surface et être entièrement automatisé. Les soumissionnaires doivent fournir spécifications techniques complètes, options de support de maintenance et services de transport/installation vers CEA Grenoble.
Questions fréquentes
De quoi traite cet appel d'offres ?
Cet appel d'offres porte sur l'acquisition et la mise en service d'un équipement de dépôt par couche atomique (ALD) entièrement automatisé pour le CEA-LETI Grenoble. Le système effectuera le dépôt de films métalliques avancés et de nitrures métalliques sur plaquettes de 300 mm (ou 200 mm) pour les applications de mémoires non volatiles et contacts avancés dans le développement de technologie SOI 10 nm et au-delà. Le marché comprend la formation de maintenance Niveau 1 obligatoire et plusieurs options facultatives.
Quelles sont les exigences pour les fournisseurs ?
Les fournisseurs doivent être des fabricants qualifiés d'équipements ALD capables de traiter des plaquettes de 300 mm avec dépôt de métaux et nitrures métalliques. L'équipement doit inclure des solutions de nettoyage de surface et être entièrement automatisé. Les soumissionnaires doivent fournir spécifications techniques complètes, options de support de maintenance et services de transport/installation vers CEA Grenoble.
Quel type d'entreprise devrait soumissionner ?
Le fournisseur doit être un fabricant établi d'équipements semiconducteurs ayant une expertise reconnue dans les systèmes de dépôt par couche atomique pour matériaux avancés et traitement semiconducteur à l'échelle recherche et développement de technologies avancées.
Qui est l'acheteur ?
L'acheteur est CEA Grenoble.
Quand cet appel d'offres se termine-t-il ?
Les soumissions se terminent le 11 septembre 2026.
Dans le cadre de ses activités de recherche visant à développer des technologies SOI à épuisement total de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt par couche atomique (ALD) entièrement automatique. Cet équipement devra principalement traiter des plaquettes de 300 mm (ou de 200 mm à l’aide de supports 200-300 mm). Il est destiné au dépôt de métaux ainsi que de nitrures métalliques pour les mémoires non volatiles et les contacts avancés. Cet équipement devra également inclure une solution de nettoyage afin d’améliorer la qualité de surface avant le dépôt de métaux et de nitrures métalliques. Le marché comprend également l’option à chiffrage obligatoire suivante* : - Option 1 – Formation de maintenance Niveau 1 (Chapitre 9) Le marché comprend également les options à chiffrage facultatif suivantes* : - Option 2 – Échangeurs de chaleur (Heat exchangers) et systèmes de refroidissement (chillers) (Section 3.2.6) - Option 3 – Transformateur électrique (Power supply transformer) (Section 4.1.4) - Option 4 – Formation de maintenance Avancé (Chapitre 9) - Option 5 – Services de maintenance préventive, corrective et pièces de rechange nécessaires (Section 12.2) - Option 6 – Extension de garantie d’une année supplémentaire - Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE
Dans le cadre de ses activités de recherche visant à développer des technologies SOI à épuisement total de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt par couche atomique (ALD) entièrement automatique. Cet équipement devra principalement traiter des plaquettes de 300 mm (ou de 200 mm à l’aide de supports 200-300 mm). Il est destiné au dépôt de métaux ainsi que de nitrures métalliques pour les mémoires non volatiles et les contacts avancés. Cet équipement devra également inclure une solution de nettoyage afin d’améliorer la qualité de surface avant le dépôt de métaux et de nitrures métalliques. Le marché comprend également l’option à chiffrage obligatoire suivante* : - Option 1 – Formation de maintenance Niveau 1 (Chapitre 9) Le marché comprend également les options à chiffrage facultatif suivantes* : - Option 2 – Échangeurs de chaleur (Heat exchangers) et systèmes de refroidissement (chillers) (Section 3.2.6) - Option 3 – Transformateur électrique (Power supply transformer) (Section 4.1.4) - Option 4 – Formation de maintenance Avancé (Chapitre 9) - Option 5 – Services de maintenance préventive, corrective et pièces de rechange nécessaires (Section 12.2) - Option 6 – Extension de garantie d’une année supplémentaire - Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
- PrixLe prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
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