France – Machines et appareils microélectroniques – Acquisition d’une paillasse de gravure matériaux III-V pour le CEA de GRENOBLE
Résumé IA
Cet appel d'offres porte sur l'acquisition d'une paillasse de chimie semi-automatique pour la gravure et le nettoyage de matériaux III-V (InP, GaAs) sur plaques de silicium de 100 à 300 mm de diamètre, destinée à la recherche en microélectronique au CEA-LETI de Grenoble. L'équipement doit respecter des dimensions précises (2500×1700×2100 mm) pour remplacer une unité existante en salle blanche. Les options incluent échangeurs de température, transformateurs, formations de maintenance, extension de garantie et transport assuré.
Fabricants ou intégrateurs établis spécialisés dans les équipements de gravure en microélectronique et les systèmes de traitement de matériaux III-V. Le fournisseur doit justifier d'une expérience avérée en paillasses de chimie de précision pour la recherche en semi-conducteurs et les environnements de salle blanche.
Les fournisseurs doivent proposer un équipement conforme aux spécifications dimensionnelles et fonctionnelles strictes pour le traitement de matériaux III-V sur plusieurs tailles de plaques. Documentation technique, formations optionnelles et livraison à Grenoble selon Incoterms DAP sont exigées. La conformité aux normes de salle blanche et la compatibilité avec l'infrastructure existante sont essentielles.
Questions fréquentes
De quoi traite cet appel d'offres ?
Cet appel d'offres porte sur l'acquisition d'une paillasse de chimie semi-automatique pour la gravure et le nettoyage de matériaux III-V (InP, GaAs) sur plaques de silicium de 100 à 300 mm de diamètre, destinée à la recherche en microélectronique au CEA-LETI de Grenoble. L'équipement doit respecter des dimensions précises (2500×1700×2100 mm) pour remplacer une unité existante en salle blanche. Les options incluent échangeurs de température, transformateurs, formations de maintenance, extension de garantie et transport assuré.
Quelles sont les exigences pour les fournisseurs ?
Les fournisseurs doivent proposer un équipement conforme aux spécifications dimensionnelles et fonctionnelles strictes pour le traitement de matériaux III-V sur plusieurs tailles de plaques. Documentation technique, formations optionnelles et livraison à Grenoble selon Incoterms DAP sont exigées. La conformité aux normes de salle blanche et la compatibilité avec l'infrastructure existante sont essentielles.
Quel type d'entreprise devrait soumissionner ?
Fabricants ou intégrateurs établis spécialisés dans les équipements de gravure en microélectronique et les systèmes de traitement de matériaux III-V. Le fournisseur doit justifier d'une expérience avérée en paillasses de chimie de précision pour la recherche en semi-conducteurs et les environnements de salle blanche.
Qui est l'acheteur ?
L'acheteur est CEA Grenoble.
Quand cet appel d'offres se termine-t-il ?
Les soumissions se terminent le 14 septembre 2026.
Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement, une paillasse de chimie semiautomatique pour la gravure et le nettoyage de matériaux III-V sur des plaques de silicium, de phosphure d’indium (InP) ou d’arséniure de gallium (GaAs) de diamètres 100, 150, 200 et 300 mm pour la microélectronique. Cette paillasse remplace une paillasse déjà existante dans la salle blanche du LETI. Par conséquent, l’équipement proposé doit respecter les dimensions suivantes : o Longueur = 2500 mm o Profondeur = 1700 mm o Hauteur = 2100 mm Le marché comprend également les options à chiffrage facultatif suivantes* : o Option 1 : Echangeurs de températures et refroidisseurs (§3.2.6) ; o Option 2 : Transformateurs d’alimentation (§4.1.4) ; o Option 3 : Formation maintenance 1er niveau (§9) ; o Option 4 : Formation maintenance avancée (§9) ; o Option 5 : Extension de garantie d’un an supplémentaire (§11.1) ; o Option 6 : La mise à disposition d’un contact sec indiquant l’ouverture de la vanne du drain de vidange H2SO4 ou H2SO5 (§4.2.3) ; o Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).
Acquisition d’une paillasse de gravure matériaux III-V pour le CEA de GRENOBLE
Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement, une paillasse de chimie semiautomatique pour la gravure et le nettoyage de matériaux III-V sur des plaques de silicium, de phosphure d’indium (InP) ou d’arséniure de gallium (GaAs) de diamètres 100, 150, 200 et 300 mm pour la microélectronique. Cette paillasse remplace une paillasse déjà existante dans la salle blanche du LETI. Par conséquent, l’équipement proposé doit respecter les dimensions suivantes : o Longueur = 2500 mm o Profondeur = 1700 mm o Hauteur = 2100 mm Le marché comprend également les options à chiffrage facultatif suivantes* : o Option 1 : Echangeurs de températures et refroidisseurs (§3.2.6) ; o Option 2 : Transformateurs d’alimentation (§4.1.4) ; o Option 3 : Formation maintenance 1er niveau (§9) ; o Option 4 : Formation maintenance avancée (§9) ; o Option 5 : Extension de garantie d’un an supplémentaire (§11.1) ; o Option 6 : La mise à disposition d’un contact sec indiquant l’ouverture de la vanne du drain de vidange H2SO4 ou H2SO5 (§4.2.3) ; o Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).
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