France – Machines et appareils microélectroniques – Fourniture d'un implanteur ionique R&D en 100, 150 et 200mm
AI summary
CEA-LETI seeks to procure a research-grade ion implanter capable of processing wafers in 100, 150, and 200mm formats. The equipment must offer high flexibility to handle diverse materials, wafer types, and implantation conditions including various species, energies, doses, and temperatures.
Manufacturers or authorized distributors of ion implantation equipment with demonstrated expertise in microelectronics processing equipment suitable for research applications.
Suppliers must provide equipment specifications meeting CEA's R&D requirements for ion implantation. Optional offerings include plasma generation from solid sources, electrical transformer supply, and advanced maintenance training. First-level maintenance training for three persons is mandatory.
Frequently asked questions
What is this tender about?
CEA-LETI seeks to procure a research-grade ion implanter capable of processing wafers in 100, 150, and 200mm formats. The equipment must offer high flexibility to handle diverse materials, wafer types, and implantation conditions including various species, energies, doses, and temperatures.
What are the requirements for suppliers?
Suppliers must provide equipment specifications meeting CEA's R&D requirements for ion implantation. Optional offerings include plasma generation from solid sources, electrical transformer supply, and advanced maintenance training. First-level maintenance training for three persons is mandatory.
What type of company should bid?
Manufacturers or authorized distributors of ion implantation equipment with demonstrated expertise in microelectronics processing equipment suitable for research applications.
Who is the buyer?
The buyer is CEA Grenoble.
Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un implanteur ionique. L'équipement doit avoir un haut niveau de flexibilité pour permettre le traitement d'une grande diversité de plaques (taille, nature des matériaux) et de conditions d’utilisation (espèces, énergie, dose, température pendant l'implantation). Le marché comporte : • Des options avec chiffrage facultatif : o Option n°1 : Proposition d’une nouvelle technique permettant de créer un plasma à partir d’une espèce solide conformément à l’article 3.1.3 du cahier des charges o Option n°2 : Fourniture d’un transformateur électrique conformément à l’article 4.1.4 du cahier des charges o Option n°3 : La formation de maintenance avancée pour 2 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges • Des options avec chiffrage obligatoire : o Option n°4 : La formation de maintenance premier niveau pour 3 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges
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Fourniture d'un implanteur ionique R&D en 100, 150 et 200mm
Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un implanteur ionique. L'équipement doit avoir un haut niveau de flexibilité pour permettre le traitement d'une grande diversité de plaques (taille, nature des matériaux) et de conditions d’utilisation (espèces, énergie, dose, température pendant l'implantation). Le marché comporte : • Des options avec chiffrage facultatif : o Option n°1 : Proposition d’une nouvelle technique permettant de créer un plasma à partir d’une espèce solide conformément à l’article 3.1.3 du cahier des charges o Option n°2 : Fourniture d’un transformateur électrique conformément à l’article 4.1.4 du cahier des charges o Option n°3 : La formation de maintenance avancée pour 2 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges • Des options avec chiffrage obligatoire : o Option n°4 : La formation de maintenance premier niveau pour 3 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges
- PriceLe prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.1%
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