France – Fournitures électroniques, électromécaniques et électrotechniques – Fourniture d’un outil de mesure de couches minces compatible avec wafers de 200 mm et 300 mm
AI summary
This tender concerns the supply of a thin-film measurement tool compatible with 200 mm and 300 mm wafers for CEA-LETI's FD-SOI technology research. The equipment must integrate ellipsometry and spectroscopic reflectometry functions to measure thickness and optical properties of single or stacked layers, supporting SOI, high-k, GaN, SiC and III-V materials for cleanroom Class 100 use.
Equipment manufacturers or authorized distributors specializing in advanced thin-film measurement tools and semiconductor characterization equipment capable of meeting FD-SOI research specifications.
Suppliers must provide equipment compatible with both 200 mm and 300 mm wafers, integrating ellipsometry and reflectometric spectroscopy functions with precise and reproducible measurement capabilities for thin-film characterization in Class 100 cleanroom environments.
Frequently asked questions
What is this tender about?
This tender concerns the supply of a thin-film measurement tool compatible with 200 mm and 300 mm wafers for CEA-LETI's FD-SOI technology research. The equipment must integrate ellipsometry and spectroscopic reflectometry functions to measure thickness and optical properties of single or stacked layers, supporting SOI, high-k, GaN, SiC and III-V materials for cleanroom Class 100 use.
What are the requirements for suppliers?
Suppliers must provide equipment compatible with both 200 mm and 300 mm wafers, integrating ellipsometry and reflectometric spectroscopy functions with precise and reproducible measurement capabilities for thin-film characterization in Class 100 cleanroom environments.
What type of company should bid?
Equipment manufacturers or authorized distributors specializing in advanced thin-film measurement tools and semiconductor characterization equipment capable of meeting FD-SOI research specifications.
Who is the buyer?
The buyer is CEA/GRENOBLE.
When does this tender close?
Submissions close on July 1, 2026.
What is the estimated value?
The estimated value is 1 EUR.
Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un outil de mesure de couches minces compatible wafers 200 mm et 300 mm, utilisable en salle blanche classe 100. L’équipement devra intégrer des fonctions d’ellipsométrie et de réflectométrie spectroscopiques. Il devra assurer des mesures précises et reproductibles des épaisseurs et propriétés optiques de couches simples ou empilées. Les technologies ciblées incluent notamment SOI, matériaux high-k, GaN, SiC et III-V par exemple. Le marché envisagé comprend : - une tranche ferme correspondant à l’équipement de base, - une tranche optionnelle n°1 relative à la fourniture de OCD et l’environnement informatique (Module OCD). Le présent marché comporte les options à chiffrage facultatif suivantes : o OPT1 : Formation à la Maintenance 1er niveau o OPT2 : Formation à la Maintenance avancée o OPT3 : Fourniture d’un transformateur électrique o OPT4 : Fourniture d’un échangeur de chaleur / refroidisseurs o OPT5 : Extension de garantie d’une durée d’un an supplémentaire o OPT6 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).
Fourniture d’un équipement de 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD
Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un outil de mesure de couches minces compatible wafers 200 mm et 300 mm, utilisable en salle blanche classe 100. L’équipement devra intégrer des fonctions d’ellipsométrie et de réflectométrie spectroscopiques. Il devra assurer des mesures précises et reproductibles des épaisseurs et propriétés optiques de couches simples ou empilées. Les technologies ciblées incluent notamment SOI, matériaux high-k, GaN, SiC et III-V par exemple. Le marché envisagé comprend : - une tranche ferme correspondant à l’équipement de base, - une tranche optionnelle n°1 relative à la fourniture de OCD et l’environnement informatique (Module OCD). Le présent marché comporte les options à chiffrage facultatif suivantes : o OPT1 : Formation à la Maintenance 1er niveau o OPT2 : Formation à la Maintenance avancée o OPT3 : Fourniture d’un transformateur électrique o OPT4 : Fourniture d’un échangeur de chaleur / refroidisseurs o OPT5 : Extension de garantie d’une durée d’un an supplémentaire o OPT6 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).
- PriceLe prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés (Translation for information : Price is not the only award criterion and all criteria are stated only in the procurement documents).
Computing match…
AI document analysis
We read the tender PDFs and DOCX files and surface key requirements, deadlines, budget and red flags.
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