France – Fournitures électroniques, électromécaniques et électrotechniques – Fourniture d’un équipement de métrologie optique 100/150/200mm

DeadlineAugust 6, 2026 at 10:00 AM22 days left

AI summary

This tender concerns the supply of an optical metrology inspection system capable of handling 100mm, 150mm, and 200mm wafers for unstructured substrates. The equipment will be used by CEA LETI for process qualification in cleanroom environments at various stages before substrate structuring, including defect detection and microscope image acquisition.

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Fit for

Equipment manufacturers or authorised distributors specialising in optical metrology and wafer inspection systems for semiconductor research and development.

Key requirements

Suppliers must provide a bridge-type optical inspection tool capable of inspecting both thin and thick substrates, with mandatory warranty extension and optional modules for cooling, transformers, and maintenance training. Delivery must be on a DAP basis to CEA Grenoble under Incoterms ICC 2020.

Frequently asked questions

  • What is this tender about?

    This tender concerns the supply of an optical metrology inspection system capable of handling 100mm, 150mm, and 200mm wafers for unstructured substrates. The equipment will be used by CEA LETI for process qualification in cleanroom environments at various stages before substrate structuring, including defect detection and microscope image acquisition.

  • What are the requirements for suppliers?

    Suppliers must provide a bridge-type optical inspection tool capable of inspecting both thin and thick substrates, with mandatory warranty extension and optional modules for cooling, transformers, and maintenance training. Delivery must be on a DAP basis to CEA Grenoble under Incoterms ICC 2020.

  • What type of company should bid?

    Equipment manufacturers or authorised distributors specialising in optical metrology and wafer inspection systems for semiconductor research and development.

  • Who is the buyer?

    The buyer is CEA/GRENOBLE.

  • When does this tender close?

    Submissions close on August 6, 2026.

  • What is the estimated value?

    The estimated value is 1 EUR.

Dans le cadre de ses activités de recherche et de développement de partenariats, le CEA LETI souhaite acquérir un système d’inspection optique dédié aux plaquettes non structurées, capable d’inspecter des plaquettes de 100 mm, 150 mm et 200 mm (dit « outil pont »), afin de remplacer les anciens systèmes utilisés jusqu’à présent. L’outil sélectionné doit être capable d’inspecter des substrats fins et épais. Ce système sera utilisé pour la qualification des procédés en salle blanche à différentes étapes du processus (tant que les substrats ne sont pas structurés) ; il doit pouvoir traiter des substrats exotiques et être capable d’inspecter et, à la demande de l’utilisateur, de collecter des images des défauts (acquisition d’images au microscope). Le marché envisagé comprend : - Un équipement de base ; - L'option à chiffrage obligatoire suivant : o OPT1 : Extension d’une année supplémentaire de la garantie - Ainsi que les options à chiffrage facultatif suivantes : o OPT2 : Echangeurs de chaleur / refroidisseurs o OPT3 : Transformateur o OPT4 : Formation Maintenance 1er niveau o OPT5 : Formation Maintenance Avancée o Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)

Buyer
CEA/GRENOBLE
Buyer ID: 775 685 019 00298·Nadège JOLLY
17 avenue des Martyrs, 38054, Grenoble
Body responsible for review procedures
GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Buyer ID: 17800053
2 Place de Verdun, Boite Postale 1135, 38022, GRENOBLE CEDEX
Other organization
Publications Office of the European Union
Buyer ID: PUBL
2417, Luxembourg

Computing match…

AI document analysis

We read the tender PDFs and DOCX files and surface key requirements, deadlines, budget and red flags.

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