France – Fournitures électroniques, électromécaniques et électrotechniques – Équipement de 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD
Résumé IA
Cet appel d'offres porte sur l'acquisition d'un équipement 300 mm multi-chambres pour dépôt métallique par PVD. Le système doit intégrer au minimum cinq chambres de dépôt, une plateforme de transfert sous vide, une chambre d'oxydation dédiée, une chambre de pré-nettoyage et un module de dégazage, destinés à la recherche FD-SOI 10 nm et technologies avancées du CEA-LETI.
Les fabricants ou intégrateurs établis d'équipements de dépôt semiconducteur avec expérience confirmée des systèmes PVD 300 mm et configurations multi-chambres sont recherchés. Le fournisseur doit démontrer son expertise en technologie FD-SOI.
Les fournisseurs doivent proposer un équipement PVD 300 mm complètement fonctionnel capable d'accueillir au minimum trois FOUPs au port de chargement. L'équipement doit respecter les spécifications techniques détaillées du cahier des charges, incluant l'intégrité du vide et les performances des chambres.
Questions fréquentes
De quoi traite cet appel d'offres ?
Cet appel d'offres porte sur l'acquisition d'un équipement 300 mm multi-chambres pour dépôt métallique par PVD. Le système doit intégrer au minimum cinq chambres de dépôt, une plateforme de transfert sous vide, une chambre d'oxydation dédiée, une chambre de pré-nettoyage et un module de dégazage, destinés à la recherche FD-SOI 10 nm et technologies avancées du CEA-LETI.
Quelles sont les exigences pour les fournisseurs ?
Les fournisseurs doivent proposer un équipement PVD 300 mm complètement fonctionnel capable d'accueillir au minimum trois FOUPs au port de chargement. L'équipement doit respecter les spécifications techniques détaillées du cahier des charges, incluant l'intégrité du vide et les performances des chambres.
Quel type d'entreprise devrait soumissionner ?
Les fabricants ou intégrateurs établis d'équipements de dépôt semiconducteur avec expérience confirmée des systèmes PVD 300 mm et configurations multi-chambres sont recherchés. Le fournisseur doit démontrer son expertise en technologie FD-SOI.
Qui est l'acheteur ?
L'acheteur est CEA/GRENOBLE.
Quand cet appel d'offres se termine-t-il ?
Les soumissions se terminent le 11 mai 2026.
Quelle est la valeur estimée ?
La valeur estimée est de 1 EUR.
Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD. L’équipement sera multi-chambres et devra inclure au moins 5 chambres de dépôt, une plateforme de transfert sous vide, une chambre d’oxydation dédiée, une chambre de pré-nettoyage et un module de dégazage. Le port de chargement devra permettre d’accueillir au moins 3 FOUPs Le marché envisagé comprend les options suivantes : - Option obligatoire : OPT1 : Extension de garantie 1 an supplémentaire (§11.1 du cahier des charges) - Options facultatives : OPT2 : Échangeurs de chaleur / Refroidisseurs (§3.2.6 du cahier des charges) OPT3 : Transformateur d'alimentation électrique (§4.1.4 du cahier des charges) OPT4 : Formation de maintenance de 1er niveau (§9 du cahier des charges) OPT5 : Formation de maintenance de niveau avancé (§9 du cahier des charges)
Fourniture d’un équipement de 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD
Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD. L’équipement sera multi-chambres et devra inclure au moins 5 chambres de dépôt, une plateforme de transfert sous vide, une chambre d’oxydation dédiée, une chambre de pré-nettoyage et un module de dégazage. Le port de chargement devra permettre d’accueillir au moins 3 FOUPs Le marché envisagé comprend les options suivantes : - Option obligatoire : OPT1 : Extension de garantie 1 an supplémentaire (§11.1 du cahier des charges) - Options facultatives : OPT2 : Échangeurs de chaleur / Refroidisseurs (§3.2.6 du cahier des charges) OPT3 : Transformateur d'alimentation électrique (§4.1.4 du cahier des charges) OPT4 : Formation de maintenance de 1er niveau (§9 du cahier des charges) OPT5 : Formation de maintenance de niveau avancé (§9 du cahier des charges)
Critères d'évaluation non précisés
Calcul du score…
Analyse IA des documents
Nous lisons les PDF et DOCX du marché et en extrayons les exigences clés, les échéances, le budget et les points de vigilance.
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