France – Machines et appareils microélectroniques – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique
Résumé IA
Cet appel d'offres porte sur la fourniture d'un équipement de polissage mécano-chimique 300mm pour les activités de recherche du CEA-LETI. L'équipement doit polir des films métalliques (cuivre, tungstène), des matériaux barrières (tantale, titane) et des substrats transparents, avec 4 plateaux, 2 cleaners, têtes de polissage dernière génération, systèmes de détection de fin de polissage et intégration de métrologie in-situ.
Fabricants d'équipements de traitement des semiconducteurs ou distributeurs agréés spécialisés dans les systèmes de polissage mécano-chimique pour la fabrication de microélectronique avancée et la recherche.
Les fournisseurs doivent proposer un outil CMP 300mm capable de traiter deux procédés en parallèle, équipé de têtes de polissage avancées et de systèmes d'ajustement automatique du profil. L'équipement doit gérer les matériaux métalliques, barrières et transparents. Prolongation de garantie obligatoire d'un an ; options facultatives incluant capteur de résidus, échangeur thermique, transformateur, formations de maintenance et transport.
Questions fréquentes
De quoi traite cet appel d'offres ?
Cet appel d'offres porte sur la fourniture d'un équipement de polissage mécano-chimique 300mm pour les activités de recherche du CEA-LETI. L'équipement doit polir des films métalliques (cuivre, tungstène), des matériaux barrières (tantale, titane) et des substrats transparents, avec 4 plateaux, 2 cleaners, têtes de polissage dernière génération, systèmes de détection de fin de polissage et intégration de métrologie in-situ.
Quelles sont les exigences pour les fournisseurs ?
Les fournisseurs doivent proposer un outil CMP 300mm capable de traiter deux procédés en parallèle, équipé de têtes de polissage avancées et de systèmes d'ajustement automatique du profil. L'équipement doit gérer les matériaux métalliques, barrières et transparents. Prolongation de garantie obligatoire d'un an ; options facultatives incluant capteur de résidus, échangeur thermique, transformateur, formations de maintenance et transport.
Quel type d'entreprise devrait soumissionner ?
Fabricants d'équipements de traitement des semiconducteurs ou distributeurs agréés spécialisés dans les systèmes de polissage mécano-chimique pour la fabrication de microélectronique avancée et la recherche.
Qui est l'acheteur ?
L'acheteur est CEA Grenoble.
Quand cet appel d'offres se termine-t-il ?
Les soumissions se terminent le 19 mai 2026.
Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 300mm de polissage mécano-chimique. L’équipement devra pouvoir polir des films métallique tels que le cuivre ou le tungstène ainsi que des matériaux barrières comme le tantale ou le titane. L’équipement devra également être capable de polir des plaques transparentes. Il devra être équipé de 4 plateaux et 2 cleaner pour pouvoir traiter 2 procédés en parallèle. Il devra être équipé des têtes de polissage et des systèmes d’end-point de dernière génération permettant l’ajustement automatique du profil de polissage. L’outil devra par la suite intégrer un module de métrologie in-situ. Le présent marché comporte l'option obligatoire suivante : - Option n°1 : Prolongation de la garantie d’une année supplémentaire. Le présent marché les options facultatives suivantes : - Option n°2 : Fourniture d’un capteur de résidus (§3.1 du cahier des charges), - Option n°3 : Fourniture d’un échangeur de chaleur/refroidisseur (§3.2.6 du cahier des charges), - Option n°4 : Fourniture d’un transformateur électrique (§4.1.3 du cahier des charges), - Option n°5 : Formation de maintenance 1er niveau (§9 du cahier des charges), - Option n°6 : Formation de maintenance avancée (§9 du cahier des charges), - Option n°7 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).
Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique
Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 300mm de polissage mécano-chimique. L’équipement devra pouvoir polir des films métallique tels que le cuivre ou le tungstène ainsi que des matériaux barrières comme le tantale ou le titane. L’équipement devra également être capable de polir des plaques transparentes. Il devra être équipé de 4 plateaux et 2 cleaner pour pouvoir traiter 2 procédés en parallèle. Il devra être équipé des têtes de polissage et des systèmes d’end-point de dernière génération permettant l’ajustement automatique du profil de polissage. L’outil devra par la suite intégrer un module de métrologie in-situ. Le présent marché comporte l'option obligatoire suivante : - Option n°1 : Prolongation de la garantie d’une année supplémentaire. Le présent marché les options facultatives suivantes : - Option n°2 : Fourniture d’un capteur de résidus (§3.1 du cahier des charges), - Option n°3 : Fourniture d’un échangeur de chaleur/refroidisseur (§3.2.6 du cahier des charges), - Option n°4 : Fourniture d’un transformateur électrique (§4.1.3 du cahier des charges), - Option n°5 : Formation de maintenance 1er niveau (§9 du cahier des charges), - Option n°6 : Formation de maintenance avancée (§9 du cahier des charges), - Option n°7 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).
Critères d'évaluation non précisés
Calcul du score…
Analyse IA des documents
Nous lisons les PDF et DOCX du marché et en extrayons les exigences clés, les échéances, le budget et les points de vigilance.
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