France – Machines et appareils microélectroniques – Fourniture d'un équipement de recuit laser microseconde en 200 et 300mm
Résumé IA
Cet appel d'offres porte sur la fourniture d'un équipement de recuit laser microseconde pour wafers 200mm et 300mm. Le CEA-LETI souhaite acquérir cet outil pour soutenir la recherche et développement de technologies FD-SOI à 10nm et au-delà, avec surveillance thermique in-situ et gestion automatisée des wafers.
Fabricants d'équipements et intégrateurs de systèmes spécialisés dans les outils de traitement semiconducteurs, particulièrement ceux ayant une expertise en systèmes de recuit laser et technologie avancée de microélectronique.
Les fournisseurs doivent proposer un équipement capable de traiter les wafers sous atmosphères contrôlées (azote, argon, oxygène, hydrazine) avec surveillance thermique in-situ intégrée. Les options obligatoires incluent la formation en maintenance de premier niveau et garantie deuxième année; les options facultatives couvrent chiller et transformateur.
Questions fréquentes
De quoi traite cet appel d'offres ?
Cet appel d'offres porte sur la fourniture d'un équipement de recuit laser microseconde pour wafers 200mm et 300mm. Le CEA-LETI souhaite acquérir cet outil pour soutenir la recherche et développement de technologies FD-SOI à 10nm et au-delà, avec surveillance thermique in-situ et gestion automatisée des wafers.
Quelles sont les exigences pour les fournisseurs ?
Les fournisseurs doivent proposer un équipement capable de traiter les wafers sous atmosphères contrôlées (azote, argon, oxygène, hydrazine) avec surveillance thermique in-situ intégrée. Les options obligatoires incluent la formation en maintenance de premier niveau et garantie deuxième année; les options facultatives couvrent chiller et transformateur.
Quel type d'entreprise devrait soumissionner ?
Fabricants d'équipements et intégrateurs de systèmes spécialisés dans les outils de traitement semiconducteurs, particulièrement ceux ayant une expertise en systèmes de recuit laser et technologie avancée de microélectronique.
Qui est l'acheteur ?
L'acheteur est CEA Grenoble.
Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un nouvel outil de recuit laser microseconde afin de relever les défis technologiques à venir. L'équipement devra comporter un module de traitement avec surveillance in-situ des transitions thermiques, ainsi qu'une interface automatique pour wafers de 200 mm et 300 mm. Le recuit devra pouvoir se faire sous atmosphères contrôlées (azote, argon, oxygène, hydrazine). Le marché comporte : • Des options avec chiffrage obligatoire : o Option n°1 : La formation de maintenance premier niveau pour 3 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges o Option n°2 : Deuxième année de garantie pour l’Equipement • Des options avec chiffrage facultatif : o Option n°3 : Fourniture d’un chiller conformément à l’article 3.2.6 du cahier des charges o Option n°4 : Fourniture d’un transformateur électrique conformément à l’article 4.1.4 du cahier des charges o Option n°5 : La formation de maintenance avancée pour 2 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges
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Fourniture d'un équipement de recuit laser microseconde en 200 et 300mm
Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un nouvel outil de recuit laser microseconde afin de relever les défis technologiques à venir. L'équipement devra comporter un module de traitement avec surveillance in-situ des transitions thermiques, ainsi qu'une interface automatique pour wafers de 200 mm et 300 mm. Le recuit devra pouvoir se faire sous atmosphères contrôlées (azote, argon, oxygène, hydrazine). Le marché comporte : • Des options avec chiffrage obligatoire : o Option n°1 : La formation de maintenance premier niveau pour 3 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges o Option n°2 : Deuxième année de garantie pour l’Equipement • Des options avec chiffrage facultatif : o Option n°3 : Fourniture d’un chiller conformément à l’article 3.2.6 du cahier des charges o Option n°4 : Fourniture d’un transformateur électrique conformément à l’article 4.1.4 du cahier des charges o Option n°5 : La formation de maintenance avancée pour 2 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges
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