France – Machines et appareils microélectroniques – Fourniture d'un implanteur ionique R&D en 100, 150 et 200mm
Résumé IA
Le CEA-LETI souhaite acquérir un implanteur ionique pour la recherche capable de traiter des plaquettes en formats 100, 150 et 200mm. L'équipement doit offrir une grande flexibilité pour traiter diverses matériaux, types de plaquettes et conditions d'implantation incluant différentes espèces, énergies, doses et températures.
Fabricants ou distributeurs autorisés d'équipements d'implantation ionique ayant une expertise démontrée en équipements de traitement microélectronique pour applications de recherche.
Les fournisseurs doivent proposer un équipement conforme aux besoins R&D du CEA. Des options facultatives incluent la génération de plasma à partir de sources solides, la fourniture d'un transformateur électrique et formation de maintenance avancée. La formation de maintenance premier niveau pour trois personnes est obligatoire.
Questions fréquentes
De quoi traite cet appel d'offres ?
Le CEA-LETI souhaite acquérir un implanteur ionique pour la recherche capable de traiter des plaquettes en formats 100, 150 et 200mm. L'équipement doit offrir une grande flexibilité pour traiter diverses matériaux, types de plaquettes et conditions d'implantation incluant différentes espèces, énergies, doses et températures.
Quelles sont les exigences pour les fournisseurs ?
Les fournisseurs doivent proposer un équipement conforme aux besoins R&D du CEA. Des options facultatives incluent la génération de plasma à partir de sources solides, la fourniture d'un transformateur électrique et formation de maintenance avancée. La formation de maintenance premier niveau pour trois personnes est obligatoire.
Quel type d'entreprise devrait soumissionner ?
Fabricants ou distributeurs autorisés d'équipements d'implantation ionique ayant une expertise démontrée en équipements de traitement microélectronique pour applications de recherche.
Qui est l'acheteur ?
L'acheteur est CEA Grenoble.
Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un implanteur ionique. L'équipement doit avoir un haut niveau de flexibilité pour permettre le traitement d'une grande diversité de plaques (taille, nature des matériaux) et de conditions d’utilisation (espèces, énergie, dose, température pendant l'implantation). Le marché comporte : • Des options avec chiffrage facultatif : o Option n°1 : Proposition d’une nouvelle technique permettant de créer un plasma à partir d’une espèce solide conformément à l’article 3.1.3 du cahier des charges o Option n°2 : Fourniture d’un transformateur électrique conformément à l’article 4.1.4 du cahier des charges o Option n°3 : La formation de maintenance avancée pour 2 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges • Des options avec chiffrage obligatoire : o Option n°4 : La formation de maintenance premier niveau pour 3 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges
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Fourniture d'un implanteur ionique R&D en 100, 150 et 200mm
Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un implanteur ionique. L'équipement doit avoir un haut niveau de flexibilité pour permettre le traitement d'une grande diversité de plaques (taille, nature des matériaux) et de conditions d’utilisation (espèces, énergie, dose, température pendant l'implantation). Le marché comporte : • Des options avec chiffrage facultatif : o Option n°1 : Proposition d’une nouvelle technique permettant de créer un plasma à partir d’une espèce solide conformément à l’article 3.1.3 du cahier des charges o Option n°2 : Fourniture d’un transformateur électrique conformément à l’article 4.1.4 du cahier des charges o Option n°3 : La formation de maintenance avancée pour 2 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges • Des options avec chiffrage obligatoire : o Option n°4 : La formation de maintenance premier niveau pour 3 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges
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